無論是博世(Robert Bosch)還是意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics；ST)，都沒能在2017年全球MEMS市場(chǎng)排名中拔得頭籌。今天，世界上最大的的全球微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)供應(yīng)商是——博通(Broadcom)！

誰(shuí)想得到呢？

根據(jù)法國(guó)市場(chǎng)市調(diào)公司Yole Développement發(fā)布的MEMS最新報(bào)告，去年，博通的排名首次超過了MEMS產(chǎn)業(yè)中的所有常見對(duì)手，這都要?dú)w功于射頻(RF) MEMS的熱銷。

全球主要的MEMS業(yè)者表現(xiàn)強(qiáng)勁成長(zhǎng)（來源：Yole Développement）

與《EE Times》的電話采訪中，Yole的MEMS元件和技術(shù)資深分析師Eric Mounier解釋，由于4G的復(fù)雜性迫使手機(jī)必須支援多頻段，從而引發(fā)對(duì)于RF濾波器無與倫比的需求高峰。隨之而來的是對(duì)于RF MEMS的市場(chǎng)需求暢旺。他指出，隨著業(yè)界轉(zhuǎn)向5G，這種現(xiàn)象只會(huì)加劇。

Yole將RF MEMS (BAW濾波器)視為推動(dòng)整個(gè)MEMS市場(chǎng)最強(qiáng)勁的引擎之一。Yole預(yù)測(cè)，如果不包括RF，MEMS市場(chǎng)在2011-2023年間將年成長(zhǎng)9%；若再加上RF MEMS，則整個(gè)MEMS市場(chǎng)的年復(fù)合成長(zhǎng)率(CAGR)可望達(dá)到17.5%。

二十年前，MEMS在整個(gè)IC市場(chǎng)上可能被視為一種另類的利基應(yīng)用。現(xiàn)在則已大相徑庭。2017年，MEMS、傳感器和致動(dòng)器(actuator)占全球晶片銷售額4,200億美元的11%。而且，MEMS在整個(gè)半導(dǎo)體市場(chǎng)的占有率還會(huì)更進(jìn)一步增加。Mounier預(yù)測(cè)，到2023年將增加到15%～20%。

行動(dòng)(mobile)和汽車是進(jìn)一步推動(dòng)MEMS需求的兩個(gè)最大領(lǐng)域。Yole預(yù)測(cè)，2023年的行動(dòng)應(yīng)用將為傳感器和致動(dòng)器創(chuàng)造530億美元的營(yíng)收，而汽車應(yīng)用則有205億美元。MEMS的下一波趨勢(shì)將會(huì)是工業(yè)4.0 (46億美元)、醫(yī)療保健(23億美元)和語(yǔ)音處理(14億美元)。

回顧在1980和1990年代初期的MEMS，Mounier指出，當(dāng)時(shí)的MEMS完全與檢測(cè)機(jī)械運(yùn)動(dòng)、壓力或沖擊的基本傳感器脫離不了關(guān)系。他說：「但那些傳感器并不是很精確」。

進(jìn)入21世紀(jì)，用于MEMS的電子和材料改善后，讓傳感器足夠精確以測(cè)量物體。Mounier說，MEMS已可使用旋轉(zhuǎn)感測(cè)和可見光管理(DLP)。而在2000-2010年中期，聲音和紅外線(IR)波長(zhǎng)也被加進(jìn)MEMS技術(shù)中。

簡(jiǎn)言之，MEMS從實(shí)體傳感器轉(zhuǎn)向光管理(如微鏡)、然后是紅外線感測(cè)(微輻射熱測(cè)量計(jì))。麥克風(fēng)以及語(yǔ)音，也助長(zhǎng)了MEMS的發(fā)展。

MEMS革命帶來了第一款超越人類感官的傳感器。據(jù)Mounier說，如今，MEMS和傳感器的發(fā)展以其于「超音波、遙感超譜(hyperspectral)、RF和其它方面的感測(cè)能力，已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超人類的能力?！?/span>

MEMS中最熱門的趨勢(shì)是傳感器融合。透過將多個(gè)傳感器整合至一個(gè)封裝中，MEMS可以擷取「全方位環(huán)境感知」，Mounier解釋說。

別忘了，隨著傳感器整合在一起，用戶期望多傳感器套件的軟體結(jié)合感官資料，還能夠產(chǎn)生更高度度的智慧。下一個(gè)里程碑可說是傳感器和人工智慧(AI)的「伏爾甘」(Vulcan，羅馬神話中的火與工匠之神，其司掌的熔爐被視為神奇的源泉)心靈融合能力。

盡管傳感器融合技術(shù)在汽車和智慧型手機(jī)中的應(yīng)用已非常流行，但該產(chǎn)業(yè)針對(duì)應(yīng)該在哪里進(jìn)行融合仍然存在分歧。一些公司開始在更接近傳感器的位置處理資料。其他人則主張后端的資料融合。Mounier坦承，業(yè)界對(duì)此的爭(zhēng)辯不曾稍歇。

現(xiàn)在，按照元件類別來解析傳感器營(yíng)收，2017年CMOS成像營(yíng)收高達(dá)134億美元，位居排行榜第一，其次是RF、雷達(dá)和指紋傳感器。

但是，如果你問2023年成長(zhǎng)最快的傳感器，那么，3D最受青睞。針對(duì)光達(dá)(LiDAR)的高需求，Mounier看好3D傳感器的CAGR將會(huì)達(dá)到40%。

MEMS產(chǎn)品多樣化，并受到各細(xì)分市場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)。其結(jié)果是，MEMS供應(yīng)商的贏家和輸家往往是風(fēng)水輪流轉(zhuǎn)。

目前，博通的MEMS業(yè)務(wù)展現(xiàn)最強(qiáng)勁的成長(zhǎng)幅度，這可歸功于RF MEMS市場(chǎng)成長(zhǎng)。

博世在市場(chǎng)上排名第二，依然是最穩(wěn)健的MEMS業(yè)者之一。據(jù)Mounier觀察，由于博世涵蓋兩種差異化的MEMS市場(chǎng)領(lǐng)域(消費(fèi)者和汽車)，為避免損失而兩方下注，使得博世在確保穩(wěn)定成長(zhǎng)方面「相當(dāng)成功」。

相反地，意法半導(dǎo)體的MEMS業(yè)務(wù)則「面臨挑戰(zhàn)」，Mounier說，這主要是因?yàn)樘O果(Apple)是意法半導(dǎo)體的唯一大客戶。同時(shí)，意法半導(dǎo)體一直難以在汽車和工業(yè)MEMS市場(chǎng)有所斬獲。

樓氏電子(Knowles Electronics)的MEMS營(yíng)收表現(xiàn)持平，主要原因是MEMS麥克風(fēng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)加劇。(Knowles Electronics)

德州儀器(Texas Instruments；TI)也一直在苦苦掙扎，因?yàn)槲㈢R是其唯一的MEMS產(chǎn)品。Mounier說，TI的成功取決于光達(dá)。如果微鏡可以成功地用于光達(dá)，TI的MEMS業(yè)務(wù)將發(fā)生重大改觀。

2017年，受惠于惠普(HP)的噴墨列印業(yè)務(wù)，意法半導(dǎo)體仍能執(zhí)MEMS代工廠的牛耳。

當(dāng)問及代工市場(chǎng)的顯著變化時(shí)，Mounier列舉了若干驚喜。他提到加拿大公司Teledyne DALSA的強(qiáng)勁成長(zhǎng)。Teledyne DALSA在一年內(nèi)將銷售額提高了1,000萬美元，在2017年達(dá)到了6,000萬美元。這家加拿大公司稱自己是「世界上最重要的純粹MEMS代工廠之一」，擁有跨多種元件類型生產(chǎn)的能力。其產(chǎn)品包括用于電信的微鏡、用于游戲控制器的陀螺儀傳感器、用于微型醫(yī)療系統(tǒng)的微流體元件，以及用于汽車的壓力傳感器和慣性傳感器、用于智慧手機(jī)的麥克風(fēng)等。

瑞典公司Silex Microsystems則是另一家發(fā)展迅速的純粹MEMS代工廠。該公司將代工業(yè)務(wù)從2016年的4,100萬美元擴(kuò)大至2017年的5,000萬美元。

然而，對(duì)于Mounier而言，最令人意外的是位于荷蘭埃因霍芬(Eindhoven)的飛利浦創(chuàng)新服務(wù)公司(Philips Innovation Services)。脫胎于飛利浦研發(fā)(Philips R&D)而獨(dú)立后，該公司似乎吸引了許多不愿透露名稱的客戶。Philips Innovation Services致力于設(shè)計(jì)、開發(fā)和提供客制MEMS元件和組裝微型元件。其MEMS代工廠號(hào)稱有140名專家，這家荷蘭公司提供「MEMS原型、MEMS制程開發(fā)和MEMS制造」。

發(fā)明新型MEMS技術(shù)并嘗試不同材料的新創(chuàng)公司，正積極推動(dòng)MEMS朝向多樣化的未來進(jìn)展。

USound是一家熱門的MEMS新創(chuàng)公司，它「進(jìn)展十分迅速，將在2019年推出MEMS微型揚(yáng)聲器」。而壓電麥克風(fēng)公司Vesper，最近則從包括亞馬遜(Amazon)在內(nèi)的投資方籌集了2,300萬美元。Mounier說，隨著汽車產(chǎn)業(yè)對(duì)于光達(dá)的持續(xù)需求，RoboSense和Innoviz等光達(dá)公司也引起了諸多關(guān)注。Chirp Microsystems (主打3D感測(cè)技術(shù))則在今年早些時(shí)候被TDK收入麾下。他還談到了「為生物相容性醫(yī)療裝置制造鈦MEMS」的法國(guó)初創(chuàng)公司——Mistic。

在Yole協(xié)助下，《EE Times》整理了17家值得關(guān)注的MEMS新創(chuàng)公司。Mounier并提醒說，這份清單并非詳盡無遺，但讓我們一窺MEMS發(fā)展走向的脈絡(luò)。

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